AGV-HP（O）精度高，热稳定振镜
描述
设计特点
- 在整个视野内达到个位数，微米级的精度
- 显著改善热稳定性，光反馈技术
- 提供业界最好的> 24位分辨率，艾特航空的GCL控制器使用时
- 包括宽范围的光圈和焦距
- 提供了各种激光波长的反射镜的表面处理许多选择
校准微米级精度，依靠最终的稳定性
随着AGV-HP（O），其提供的任何激光扫描仪精度的最高水平，你会生产出更小，更精确的特征相一致的部分。该AGV HP（O）的高度可重复的和热稳定的反馈传感器可以在视场中被校准降至个位数，微米级的精度（参见下图）。与所述位置换能器的非常低的热增益漂移性能，即采取长时间来完成复杂的，高密度的激光加工应用将保持在进程的生存期一致微米级特征位置精度。同样地，高吞吐量的应用程序将保持一贯的器件间的质量，而不必部件之间的重新校正。对于热稳定性的最高水平，所述AGV-HP（O）扫描仪可以配备水冷却以稳定装置的操作温度变化的负载下，改变对所述输入孔径的环境温度或束限幅。
实时流程可见性
AGV-HP(O)反射镜的位置可以被实时捕获和分析。与直接访问扫描器的位置，你不需要程序延迟参数来补偿滞后和跟踪误差在伺服系统。可在刻件前优化工艺流程，节省时间，减少材料浪费。您还可以根据位置和速度标准控制激光的状态，进一步降低编程的复杂性。高级编程功能
AGV-HP(O)采用Aerotech为传统基于伺服的激光处理应用开发的先进运动和位置同步输出(PSO)能力。轮廓功能，如加速度限制，可用于自动降低速度在紧密的角落或小半径，以最大限度地减少超调。利用粒子群算法可以根据反射镜的位置反馈触发激光，以保证扫描速度变化时光斑重叠一致。Aerotech的无限视场(IFOV)功能无缝地结合了伺服和扫描仪的运动，扩展了扫描仪在整个伺服阶段的移动标记能力，消除了在更传统的移动-暴露-重复过程中可能出现的缝合误差。
设计选择
AGV-HP(O)系列有10毫米、14毫米、20毫米和30毫米的输入孔径，可以直接配备F-Theta镜头或Aerotech的远心镜头。用户还可以直接从可靠的供应商处获得聚焦光，Aerotech提供间隔环，以确保通过光的反射不会损坏扫描镜。支持广泛范围的UV、可见光、IR和CO2波长的镜面涂层。为超快激光优化的涂层也可用。
产品规格
机械规格
| 模型 | AGV10HP（O） | AGV14HP (O) | AGV20HP（O） | AGV30HP（O） | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 光学性能 | ||||||
| 束孔径 | 10毫米 | 14毫米 | 20毫米 | 30毫米 | ||
| 最大扫描角 | ±20° | |||||
| 梁位移 | 12.6毫米 | 16.5毫米 | 23.2毫米 | 35.7毫米 | ||
| 反馈分辨率 | 0.012微弧度（25位） | |||||
| 抖动（最小增量运动）（2） | 0.4微弧度RMS | |||||
| 准确性 | 50微弧度峰峰值 | |||||
| 可重复性（3） | 0.4微弧度RMS | |||||
| 增益误差 | 0.05毫弧度 |
|||||
| 非线性 | 0.005% | |||||
| 动态性能 | ||||||
| 跟踪误差 | 0µ交会 | |||||
| 峰值加速度（4,5） | 288000米/秒2 | 224000米/秒2 | 80000米/ s的2 | 56000米/ s的2 | ||
| 连续加速（4，6） | 75200米/ s的2 | 56000米/ s的2 | 20800米/ s的2 | 19200米/ s的2 | ||
| 定位的速度（4） | 75米/ s的 | 75米/ s的 | 50m / s的 | 20米/秒 | ||
| 打标速度（4，7，8） | 5m / s的 | 5m / s的 | 5m / s的 | 5m / s的 | ||
| 跳跃和稳定时间为1毫米移动（4,9） | 270微秒 | 270微秒 | 450µ秒 | 700微秒 | ||
| 稳定 | ||||||
| 长期漂移（3） | 抵消 | 10微弧度/ 12小时 | ||||
| 15µrad / 24小时 | ||||||
| 获得 | 为10ppm / 24小时 | |||||
| 热漂移 | 抵消 | 10微弧度/℃ | ||||
| 获得 | 1 ppm /°C | |||||
| 机械规格 | ||||||
| 质量 | -生命值 | 4.1公斤 | 4.4公斤 | 5.1公斤 | 5.8公斤 | |
| -HPO | 2.5公斤 | 2.6公斤 | 2.9公斤 | 3.1公斤 | ||
| 材料 | 铝（黑色阳极氧化处理和蓝色颜料） | |||||
| MTBF（平均故障间隔时间） | 20000小时 | |||||
注:
除非另有说明1.所有角度是光学的。
2.在不-AC空气冷却选项。
3.最初的3小时预热后，环境温度变化<±0.5℃后，
4.f = 160mm f - theta目标的典型性能。
5.根据电机的最大额定电流。
6.根据额定电流有效值与-WC水冷选项电机;最大连续加速度是没有水冷却该值的70％。
7.可实现与<1％的速度误差超过移动的连续速度部分。
8.打标速度取决于可允许的跟踪误差。
9.结算到移动距离的1％以内。
10.除非另有说明，所有规格均按轴计算。
电气规格
| 模型 | AGV10HP（O） | AGV14HP (O) | AGV20HP（O） | AGV30HP（O） |
|---|---|---|---|---|
| 驱动系统 | 无刷直接驱动电机的Galvano | |||
| 反馈 | 非接触旋转编码器 | |||
| 最大总线电压 | ±40伏直流电 | |||
| 限位开关 | 光限位开关和软件极限值 | |||
| 首页开关 | 在中心 | |||
外形尺寸
订购信息
AGV-HP（O）系列振镜扫描器
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| AGV10HP（O） | 2轴振镜扫描器，用10毫米直径的束孔和积分高精度反馈 |
| AGV14HP (O) | 2轴振镜扫描器14毫米直径的束孔和积分高精度反馈 |
| AGV20HP（O） | 2轴振镜扫描器20毫米直径的束孔和积分高精度反馈 |
| AGV30HP（O） | 直径为30毫米的束孔和集成的高精度反馈的二轴检流计扫描器 |
房屋类型（必需）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| - | 封闭式扫描器外壳(AGVxxHP) |
| Ø | 打开扫描器壳体（AGVxxHPO） |
梁条目(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -BE1 | 右侧激光光束入口（标准） |
| -BE2 | 左侧激光束进入 |
镜面涂层的波长（必需的）
| -W001 | 10.6微米 | ||
| -W002 | 耐用银（450纳米 - 10.6微米） | ||
| -W003 | 1552纳米 | ||
| -W004 | 1064海里 | ||
| -W005 | 1030海里 | ||
| -W006 | 532纳米 | ||
| w007 | 515海里 | ||
| -W008 | 355纳米 | ||
| -W009 | 343海里 | ||
| -W012 | 9.3微米 | ||
注：可自定义的涂料。联系工厂了解详情。
F-西塔镜头（选配）（1，2）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -Lxx | 见表1:可提供F-Theta透镜 |
安装板(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 国会议员 | 安装板 |
注：-mp选项仅适用于封闭的扫描仪外壳（AGVxxHP）模型。
风冷（可选）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -AC | 气冷 |
水冷(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -厕所 | 水冷 |
性能等级（必填）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -PL0 | 标准的性能等级 |
| -PL9 | 超性能等级 |
集成（必需）
Aerotech提供标准和定制的集成服务，以帮助您的系统尽快全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么样的集成级别，或者您希望对您的系统提供定制的集成支持，请咨询Aerotech。
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| μ-TAS | 集成 - 测试的系统 将一组组件作为一个完整的系统进行测试、集成和文档化，这些组件将一起使用(例如:驱动器、控制器和舞台)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档化。 |
| -TAC | 集成 - 测试的组件 测试和集成单独的项目作为分散的组件一起交付。这通常用于备件、替换部件或不会一起使用的项目。这些组件可能是大系统的一部分，也可能不是。 |
镜片安装适配器(单独订购)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| LM10HP-XXX | 镜头安装适配器AGV10HP（O）;标准版本支持的Aerotech提供的透镜配置;根据要求提供的定制版本 |
| LM14HP-XXX | 镜头安装适配器AGV14HP（O）;标准版本支持的Aerotech提供的透镜配置;根据要求提供的定制版本 |
| LM20HP-XXX | 镜头安装适配器AGV20HP（O）;标准版本支持的Aerotech提供的透镜配置;根据要求提供的定制版本 |
| LM30HP-XXX | 镜头安装适配器AGV30HP（O）;标准版本支持的Aerotech提供的透镜配置;根据要求提供的定制版本 |
表1:可提供F-Theta镜头(可选)（1，2）
| AGV10HP（O） |
AGV14HP (O) |
AGV20HP（O） | AGV30HP（O） | |
| l1 | 1552-100-T 55毫米平方FOV |
- | 10600-100-T 35毫米平方FOV |
10600-255 100毫米平方FOV |
| l2 | 1552-163-T 90毫米平方FOV |
- | 10600 - 160 75毫米平方FOV |
1064-200 65毫米平方FOV（4） |
| l3 | 1064-100 65毫米平方FOV（4） |
1552-100-T 45毫米平方FOV |
10600-255 160毫米平方FOV |
1064-255 150毫米平方FOV（4） |
| l4 | 1064-255 150毫米平方FOV（4） |
1552-163-T 90毫米平方FOV |
1064-100-T 40毫米平方FOV |
1064-500 230毫米平方FOV（4） |
| l5 | 1064-160 105毫米平方FOV（4） |
1064-100 35毫米平方FOV（4） |
1064-163 70毫米平方FOV（4） |
- |
| 16种 | 1064 - 163 t 90毫米平方FOV |
1064-100-T 60毫米平方FOV（4） |
1064 - 163 t 70毫米平方FOV |
- |
| 发明人或者设计人 | 1030-100-T 40毫米平方FOV |
1064-160 80毫米平方FOV（4） |
1064-255 150毫米平方FOV（4） |
- |
| 经历了18个 | 1030 - 163 t 90毫米平方FOV |
1064 - 163 t 85毫米平方FOV |
532-255 145毫米平方FOV（4） |
- |
| -L9 | 532-100 55毫米平方FOV（4） |
1064 - 170 110毫米平方FOV（4） |
- | - |
| -L 10 -R | 532-100-T 60毫米平方FOV（4） |
1030-100-T 30毫米平方FOV |
- | - |
| -L11 | 532 - 160 105毫米平方FOV（4） |
1030 - 163 t 90毫米平方FOV |
- | - |
| -L12 | 532-163-T 75毫米平方FOV |
532-100-T 60毫米平方FOV（4） |
- | - |
| -L13 | 515 - 100 t 40毫米平方FOV |
532 - 160 105毫米平方FOV（4） |
- | - |
| -L14 | 515-163-T 40毫米平方FOV |
532-163-T 75毫米平方FOV |
- | - |
| -L15 | 355 - 53 - t 15毫米平方FOV |
532 - 170 100毫米平方FOV（4） |
- | - |
| -L16 | 355-100-T 50毫米平方FOV |
515 - 100 t 40毫米平方FOV |
- | - |
| -L17 | 355-160 90毫米平方FOV |
515-163-T 40毫米平方FOV |
- | - |
| -L18 | 355-163-T 80毫米平方FOV |
355 - 53 - t 5毫米平方FOV |
- | - |
| -L19 | 355-255 140毫米平方FOV |
355-163-T 80毫米平方FOV |
- | - |
| -L20 | - | 355-255 140毫米平方FOV |
- | - |
| -L21 | - | 343-53-T 5毫米平方FOV |
- | - |
| -L22 | - | 343-163-T 70毫米平方FOV |
- | - |
| -L23 | - | 343 - 255 115毫米平方FOV |
- | - |
1.指定为XXX-YYY(-T)的镜头，其中“XXX”表示以纳米为单位的波长，“YYY”表示以毫米为单位的焦距，“-T”表示远心设计。
2.输入光束直径被假定为在1 / e的^ 2高斯分布等于扫描头入口孔。
3.报告的视场(FOV)大小是近似的，可能会受到应用的激光和光学参数函数的微小变化。
联系工厂了解详情。
不推荐4.若干的f-theta透镜为使用短脉冲激光器（皮秒和飞秒脉冲持续时间）。联系工厂是备用的镜头选择
用短脉冲激光器兼容。
5.定制的镜头。联系工厂了解详情。